無源器件的S參數(shù)測試相對比較簡單,對于雙端口無源器件,比如濾波器、衰減器等,可以使用兩端口矢網(wǎng)。但是對于多端口無源器件,比如功分器、耦合器、雙工器及合路器等,為了保證測試精度,建議使用四端口矢網(wǎng)測試。
對于有源器件的測試,除需要測試小信號S參數(shù),還要測試相應(yīng)的非線性特性指標(biāo),如P1dB,三階交調(diào)點(diǎn),諧波失真等。因三階交調(diào)測試需要儀表提供一個(gè)雙音激勵(lì)信號,對于四端口ZVA40,標(biāo)配帶有兩個(gè)獨(dú)立的內(nèi)部源,因此可以單獨(dú)完成放大器的三階交調(diào)測試,圖24給出了測試連接圖及測試結(jié)果。對于功率放大器,有時(shí)還要測試其正常工作狀態(tài)下的S參數(shù),如輸出端口的熱駐波比。圖25給出了基于ZVA的熱駐波比測試連接示意圖,Port3給放大器提供一個(gè)激勵(lì)信號f2,使其正常工作,Port2輸出一個(gè)不同頻率的小信號f1,用于測試放大器輸出駐波比,建議f1與f2相差1MHz,那么在接收機(jī)側(cè)通過設(shè)置合適的IF BW就可以輕松地實(shí)現(xiàn)二者的分離,從而完成熱駐波比的測試。
功率放大器需要在一定激勵(lì)功率下才能夠正常工作,如果所要求的驅(qū)動功率超出了矢網(wǎng)主機(jī)端口輸出的最大功率,并且要求測試功放的四個(gè)S參數(shù),此時(shí)就需要使用圖26所示的測試裝置,外部引入相應(yīng)的驅(qū)動放大器、雙定向耦合器、環(huán)形隔離器等,為了保護(hù)儀表,還需要引入一定的衰減器。
圖24.基于ZVA的小信號放大器測試連接示意圖
圖25.基于ZVA的熱駐波比測試連接示意圖
圖26.基于ZVA的高功率放大器測試連接示意圖
對于77GHz的元器件測試,已經(jīng)超過了ZVA40主機(jī)的工作頻率范圍,需要使用外部變頻器模塊ZVA-Z90,如圖27所示。ZVA-Z90配合ZVA40可以實(shí)現(xiàn)非常優(yōu)異的系統(tǒng)動態(tài)范圍,在60GHz~90GHz頻率范圍內(nèi),系統(tǒng)動態(tài)范圍超過115dB,這是準(zhǔn)確測試濾波器帶外抑制及天線隔離度的有力保障。同時(shí),ZVA-Z90具有極高的端口輸出功率,可以達(dá)到+10dBm,能夠完成大功率測試。ZVA-Z90也同樣適用于高增益器件的測試,因?yàn)槠渚哂?0dB的功率調(diào)節(jié)范圍。ZVA-Z90波導(dǎo)端口的輸出功率是通過調(diào)整ZVA40主機(jī)端口輸出功率來調(diào)整的,因此可以非常方便地實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)端口處的功率掃描,以測試毫米波放大器的P1dB。
圖27. ZVA借助于ZVA-Z90實(shí)現(xiàn)頻率至90GHz的矢量網(wǎng)絡(luò)分析方案
對于將來要涉及的在片測試,羅德與施瓦茨公司也有相應(yīng)的方案。
器件的在片測試主要應(yīng)用在器件建模,工藝優(yōu)化以及毫米波測試方面,主要的測試參數(shù)有S參數(shù)、噪聲系數(shù)、相位、功率、P1dB、三階交調(diào)等,對比普通器件測試,在片測試的關(guān)鍵是如何進(jìn)行電路測試的連接,測試校準(zhǔn)的實(shí)現(xiàn),以及如何準(zhǔn)確一致的測試全部器件參數(shù)。器件的連接主要在于探針臺系統(tǒng)和測試夾具的選擇,羅德與施瓦茨公司則針對測試校準(zhǔn)、參數(shù)測量方面提供非常全面及專業(yè)的解決方案。
在片測試時(shí),芯片的每次連接都會導(dǎo)致電路參數(shù)和測試數(shù)據(jù)的改變,影響器件建模和工藝優(yōu)化,以及器件的準(zhǔn)確測量。利用R&S矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀ZVA,一次連接即可實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)的在片測量,包括標(biāo)準(zhǔn)S參數(shù)、時(shí)域測量、變頻測量、真差分測量 (混合模式S參數(shù))、噪聲系數(shù)測量等,對于功率器件,也可以實(shí)現(xiàn)脈沖S參數(shù)的測量,確保所有電路參數(shù)的準(zhǔn)確可靠一致。
兼容Cascade探針臺,可以實(shí)現(xiàn)毫米波太赫茲器件的在片測量。Cascade Wincal軟件支持矢量網(wǎng)絡(luò)分析的校準(zhǔn)。由于ZVA-Z90變頻器模塊采用無風(fēng)扇的冷卻處理,工作過程中無噪聲和振動,特別適合探針臺及在片測量。
在片矢量網(wǎng)絡(luò)分析測量系統(tǒng)由R&SZVA40矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、ZVA-Z90系列毫米波變頻模塊、NGMO2雙通道直流電源以及探針臺和探針組成,如28所示,可完成60GHz-90GHz在片矢量網(wǎng)絡(luò)分析測量。
圖28所示接口中,1-4為3.5mm(M-F)同軸電纜,5-6為直流電源電纜,7-8為GPIB或LAN電纜,9-10為波導(dǎo)。
圖28. 在片矢量網(wǎng)絡(luò)分析測量系統(tǒng)框圖
圖29. 在片矢量網(wǎng)絡(luò)分析測量
圖30. 在片差分器件測試