本文所述的設備、
儀器、系統(tǒng)主要用于對金屬加工件的形位誤差幾何量測量。隨著計算機、激光技術、電子學技術的發(fā)展和各種高技術多學科的相互滲透,它們由傳統(tǒng)的機械式、氣動式、電子式發(fā)展到光、機、電一體化的綜合式,由加工后測量發(fā)展到在線監(jiān)控測量,由接觸式測量發(fā)展到非接觸式測量。術向著自動化、智能化、動態(tài)、高精度發(fā)展,檢測結果向著數(shù)字化與圖象化發(fā)展,體積向著小型化發(fā)展,結構向著模塊化、單元組合式發(fā)展,檢測功能向著綜合性、多參數(shù)、多維發(fā)展。
三座標測量機是大型測量設備中較典型的代表,英國、美國、瑞士等國家的產(chǎn)品具有較高的水平。此類的高檔產(chǎn)品,國外占據(jù)我國80%以上的市場份額,較高和中檔水平的產(chǎn)品,我國已經(jīng)能夠滿足市場的需要。主要廠家有:青島前哨布朗公司、上海量具刃具廠、西安愛德華公司、航空精密機械研究所等廠家,其中青島前哨布朗公司的產(chǎn)品已有較大出口量。目前,三座標測量機的最大缺點是:采用接觸式測量方式,影響其精度的提高和使用的廣泛性。未來的發(fā)展趨勢是采用非接觸式的測量方式。
目前,我國光電非接觸式的檢測產(chǎn)品與發(fā)達國家相比差距較大,國外典型的廠家有:美國Zygo和Tsi公司,英國Renishaw公司,瑞士Zambach公司,德國Zeiss和Opton公司,日本安立、三菱、松下公司等。它們的精度指標已達到0.1微米,產(chǎn)值以每年10%的速度遞增,占據(jù)主要的國際市場。國內能夠生產(chǎn)這類產(chǎn)品的主要廠家有北京萊格超精光電研究所、萊格光電儀器公司、長春光機學院等廠家。其主要產(chǎn)品有:激光掃描多功能檢測儀;通用激光測量儀;形位誤差光電綜合測量機;激光圓度儀等產(chǎn)品。
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