牛津儀器 納米操縱手OmniProbe 200是一款安裝在FIB和SEM端口上的納米操縱手,內置了一個100nm閉環(huán)反饋控制器,具有準確、靈活、易用等特點。使用閉環(huán)系統(tǒng)進行操作,完全獨立于電鏡樣品臺定位,從而為樣品操作提供了額外的自由度。該專利利用定制的樣品臺和探針組合(CSP)可將樣品重新定位到特定角度。
牛津儀器 納米操縱手OmniProbe 200以其有效性和易于操作和使用而聞名,用戶可以:
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中和樣品表面富集電荷;
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測量納米結構的電學性能(EBIC,EBAC,電流探測);
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在FIB中進行TEM樣品制備,包括平面樣品和背切樣品;
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在SEM中制被以用于TEM和原子探針觀察;
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制備用于TEM、EDS及其它分析所需的高質量樣品;
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冷凍提取。
特色和優(yōu)點
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包括第8代具有創(chuàng)新性的先進技術;
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實現(xiàn)從納米線操作到TEM樣品制備,再到電學和機械測量的各種應用;
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3軸樣平臺可以沿任意方向線性移動(全向性);
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在任何樣品傾斜角度下都能實現(xiàn)正交導航;
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將樣品快速旋轉到特定角度;
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可以大范圍內執(zhí)行平穩(wěn)而精確的操作;
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即使在視野外也始終知道探頭尖端的位置;
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在任意端口安裝都可以預測移動行為;
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可以輕松地調出存儲位置,減少操作員疲勞,并提高成功率;
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避免碰撞;
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氣動插入/回縮鏈接到電鏡軟件(取決于OEM);
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內置能力,可為針施加最大+/- 10 V的偏壓,用于電壓襯度成像或其他應用。
同軸旋轉功能
同軸旋轉分辨率可達0.1度,使樣品在旋轉期間一直處于相當于60um水平視場的放大倍率下成像。
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可以安全的完成樣品旋轉,沒有任何碰撞的風險。每次旋轉后,不需要重新定位樣品或探針尖端。
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在FIB中,這保證了對針尖打磨的速率及簡易性,以改善電學特性表征的可靠性及對20nm以下特征樣品尺寸進行操作時的精確性。
自動化系統(tǒng)
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電腦和顯示器;
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2U機架式以太網(wǎng)控制器;
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帶有100nm線性反饋的3軸樣平臺;
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運動控制軟件界面;
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用戶手冊和安裝指南。