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布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀

名稱：其他儀器與工具

品牌：

型號(hào)：

簡(jiǎn)介：全新的布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀優(yōu)異的精確度、可重復(fù)性和再現(xiàn)性廣泛應(yīng)用于大尺寸晶片及面板制造業(yè)。該系統(tǒng)可容納多達(dá)350mm*350mm的樣品，使得傳奇性的Dektak系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)從200mm到300mm的晶片制造...

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布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀優(yōu)異的精確度、可重復(fù)性和再現(xiàn)性廣泛應(yīng)用于大尺寸晶片及面板制造業(yè)。該系統(tǒng)可容納多達(dá)350mm*350mm的樣品，使得傳奇性的Dektak系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)從200mm到300mm的晶片制造。布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀集成氣體隔震裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環(huán)境下運(yùn)行，是當(dāng)今要求苛刻的生產(chǎn)環(huán)境的理想之選。

它的雙攝像頭設(shè)置使空間感增強(qiáng)，其高水平自動(dòng)化可最大限度提高生產(chǎn)量。Bruker公司特有的具有圖形識(shí)別功能的Vision64 生產(chǎn)接口可滿足用戶需求，使數(shù)據(jù)采集成為一個(gè)自主的和可重復(fù)的過程，最大限度地降低操作員的變化帶來的影響。布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀已經(jīng)針對(duì)持續(xù)生產(chǎn)工作時(shí)間和最大生產(chǎn)量在工藝開發(fā)和質(zhì)量保證與質(zhì)量控制應(yīng)用方面進(jìn)行了全面優(yōu)化，將本產(chǎn)品設(shè)計(jì)為業(yè)界最易使用的探針式輪廓儀。

以下是艾克賽普為您介紹布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀的特點(diǎn)，如有相關(guān)問題，請(qǐng)聯(lián)系長(zhǎng)沙艾克賽普儀器儀表公司www.91zenqing.cn，聯(lián)系電話：0731-84284278 84284378。

Bruker公司特有的雙攝像頭控制系統(tǒng)，通過點(diǎn)擊實(shí)時(shí)視頻更快鎖定到關(guān)注點(diǎn)；通過選擇實(shí)時(shí)視頻中的兩個(gè)點(diǎn)快速定位樣品（自動(dòng)旋轉(zhuǎn)使連線水平）；通過在實(shí)時(shí)視頻中點(diǎn)擊掃描起始和結(jié)束位置簡(jiǎn)化測(cè)量設(shè)置（教學(xué)）。可靠的自動(dòng)化設(shè)置和操作，借助300毫米的自動(dòng)化編碼XY工作臺(tái)以及360度旋轉(zhuǎn)能力，精確編程控制無限制測(cè)量位置；利用帶圖形識(shí)別功能的Vision64位產(chǎn)品軟件最大程度減少使用中的定位偏差；將自定義用戶提示以及其它元數(shù)據(jù)編入您的方案中，并存儲(chǔ)到數(shù)據(jù)庫內(nèi)。方便的分析和數(shù)據(jù)采集，快速分析儀支持大部分常用分析方法，可輕松實(shí)現(xiàn)分析程序自動(dòng)化；通過臺(tái)階檢測(cè)功能將分析集中于復(fù)雜樣品上感興趣的特征；通過賦予每個(gè)測(cè)量點(diǎn)唯一名稱并自動(dòng)記錄到數(shù)據(jù)庫來簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)分析；Dektak在大樣品制造業(yè)中的傳奇性能。業(yè)界最佳的自動(dòng)分析軟件，新增軟件功能使Dektak XTL成為市面上最強(qiáng)大、最易使用的探針式輪廓儀。系統(tǒng)使用的Vision64軟件,與Bruker公司的光學(xué)輪廓儀完全兼容。Vision64軟件可以進(jìn)行樣品任何位置測(cè)量、3D繪圖以及借助數(shù)百個(gè)內(nèi)置分析工具實(shí)現(xiàn)的高度定制表征方法。也可以使用Vision Microform軟件來測(cè)量曲率半徑等形狀。圖形識(shí)別功能可以盡量減少操作員誤差并提高測(cè)量位置精度。在同一軟件包內(nèi)，以直觀流程進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和2D、3D分析。每個(gè)系統(tǒng)都帶有Vision軟件許可證，可在裝有Windows7操作系統(tǒng)的個(gè)人電腦上安裝，用戶可在電腦桌面上創(chuàng)建數(shù)據(jù)分析和報(bào)告。

無與倫比的探針式檢測(cè)技術(shù)，布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀擁有超過40年的探針專業(yè)經(jīng)驗(yàn)和軟件定制生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，符合現(xiàn)在和未來的嚴(yán)格的行業(yè)發(fā)展藍(lán)圖。300毫米高精度編碼XY工作臺(tái)為制造商提供可靠工具，滿足嚴(yán)格的可重復(fù)性和再現(xiàn)性要求。Dektak雙攝像頭控制系統(tǒng)裝有俯視攝像頭以及頂尖高倍率側(cè)視攝像頭，使空間感增強(qiáng)；通過在視頻上點(diǎn)擊定位使操作者能夠快速調(diào)整樣品至正確位置，以便進(jìn)行快速簡(jiǎn)單的測(cè)量設(shè)置和自動(dòng)化編程。系統(tǒng)方便使用的連鎖門使樣品裝載和卸載更加安全快捷。其它硬件特性包括：為達(dá)到極低噪音水平而使用的單拱結(jié)構(gòu)和集成隔離結(jié)構(gòu)；可快速更換和自動(dòng)校準(zhǔn)的探針；為加速自動(dòng)數(shù)據(jù)采集而使用的高精度編碼XY工作臺(tái)；N-Lite低作用力時(shí)候采用Soft Touch 技術(shù)與1mm測(cè)量范圍同時(shí)使用，可進(jìn)行精細(xì)、高垂直范圍樣品測(cè)量。大幅面應(yīng)用的關(guān)鍵成果，憑借其優(yōu)越性能和易用性的獨(dú)特結(jié)合，布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀成為新的質(zhì)量保證/質(zhì)量控制的研究標(biāo)準(zhǔn)，布魯克Bruker Dektak XTL 探針式輪廓儀被應(yīng)用于觸摸面板、太陽能板、平板顯示器和半導(dǎo)體行業(yè)的工業(yè)薄膜沉積監(jiān)測(cè)。