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布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀

名稱:其他儀器與工具

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簡介:布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀是定位和量化TXRF微量金屬污染的半導體儀器。布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀是最新的力量TXRF光譜儀,為全晶片提供快速、非破壞性,內(nèi)聯(lián)和完全自動化測量微量金屬,...

  • 產(chǎn)品介紹
布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀是定位和量化TXRF微量金屬污染的半導體儀器。布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀是最新的力量TXRF光譜儀,為全晶片提供快速、非破壞性,內(nèi)聯(lián)和完全自動化測量微量金屬,使污染控制在設備處理。布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀符合半標準,帶有JV-TXRF軟件包,是最新的TXRF技術和儀器創(chuàng)新。
布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀的TXRF技術給晶圓廠的完全自動化解決方案監(jiān)測微量金屬污染,同時保持空間信息在晶片表面。測量表面敏感,無損,完全自動化,不需要化學危險品的使用。JVX7300F-C給用戶增加了測量的選擇與配方可定義晶片對齊方法,提高吞吐量和測量硅和其他晶片基板的靈活性。JVX7300F-C提供了一個可定制的平臺3同時配置、單色、光學路徑。使用三種不同的激勵源保證最好的敏感性組在每個元素周期表。JVX7300F-C還配備了最新的硅漂移探測器,提供優(yōu)秀的能量分辨率和背景的最終微量金屬的敏感性最低。
快速映射TXRF,整片地圖的快速映射TXRF給污染物的數(shù)量和他們的位置信息在晶片表面。這個信息是故障診斷的關鍵微量金屬遠足和監(jiān)測微量金屬含量在工廠中的每個流程步驟。零邊緣排除,JVX7300F-C提供映射能力為零毫米邊緣排除。晶片邊緣TXRF測量為工程師提供了極有價值的信息,在微量金屬含量的關鍵區(qū)域的晶片,這是容易通過foup和邊緣觸手交叉污染。
如果您需要布魯克Bruker JVX7300F-C 半導體計量儀及布魯克品牌儀器、或者其他品牌儀器,均可聯(lián)絡我司銷售部門:0731-84284278 84284378。

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