布魯克Bruker JVX7300LSI 半導體計量儀是專們在線監(jiān)控半導體材料研發(fā)生產過程的一款儀器。布魯克Bruker JVX7300LSI 半導體計量儀全自動分析許多先進材料。標準配置是JVX7300L,實現掃描HRXRD XRR,XRD、GI-XRD WA-XRD。具有全自動光學來源,系統(tǒng)可以切換標準XRD,高分辨率,和x射線反射率模式無需用戶干預,甚至在同一配方批。布魯克Bruker JVX7300LSI 半導體計量儀完全自動化的校準、測量、分析和報告的結果可以確保生產和快速描述薄膜。允許平面x射線衍射測量,可以添加可選的信息通道。
布魯克Bruker JVX7300LSI 半導體計量儀升級為HRXRD s通道的結構,HRXRD圖案結構,通道可以添加。這提供了一種高分辨率束50µmx50µm樣品,連同完整的模式識別,并允許測試結構的測量有圖案的晶片。主要應用:FinFET表征,包括外延層;III-V如果未來的節(jié)點上的發(fā)展;氮化鎵對Si的功率晶體管;High-K厚度、密度和結晶度;所有應用程序都是通過我們的綜合分析軟件套件進行分析模擬。
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