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布魯克Bruker JVX7300RF-T 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x
名稱：其他儀器與工具
品牌：
型號(hào)：
簡(jiǎn)介：JVX7300RF-T特征與小點(diǎn)多通道測(cè)量平臺(tái)光譜儀和快速XRR渠道,為測(cè)量薄金屬層堆棧產(chǎn)品或毯子晶片。金屬的工具是專為高級(jí)過程控制和透明的電影線(BEOL)的后端,MEOL和前端的線(FEOL)先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝(邏輯、DRAM、閃存和硬盤...
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- 產(chǎn)品介紹
布魯克Bruker JVX7300RF-T 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x的特征為與小點(diǎn)多通道測(cè)量平臺(tái)光譜儀和快速XRR渠道,為測(cè)量薄金屬層產(chǎn)品或毯子晶片。金屬的工具是專為高級(jí)過程控制和透明的電影線(BEOL)的后端,MEOL和前端的線(FEOL)先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝(邏輯、DRAM、閃存和硬盤驅(qū)動(dòng)器過程線)。
FastXRR通道,波束寬度的< 50µm,能夠測(cè)量再計(jì)算。FastXRR無損、非接觸式方法,第一原則是理想的測(cè)量厚度、密度以及電影和棧的插入中間/表面粗糙度測(cè)量結(jié)果。它可以用于分析種子/障礙的電影,與兩層的厚度決定獨(dú)立于一個(gè)單一的測(cè)量。
小點(diǎn)光譜儀頻道,光斑大小的< 25µm,能夠測(cè)量計(jì)量墊的要求最高,甚至映射在一個(gè)銅碟形墊。
如果您需要布魯克Bruker JVX7300RF-T 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x及布魯克品牌儀器、或者其他品牌儀器，均可聯(lián)絡(luò)我司銷售部門：0731-84284278 84284378。
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