0731-84284278
捷歐路JEOL IB-19520CCP 截面樣品制備裝置
名稱:其他儀器與工具
品牌:
型號:
簡介:捷歐路JEOL IB-19520CCP 截面樣品制備裝置在加工過程中利用液氮冷卻,能減輕離子束對樣品造成的熱損傷。冷卻持續(xù)時間長、液氮消耗少的構(gòu)造設(shè)計。在裝有液氮的情況下,也能將樣品快速冷卻、恢復(fù)到室溫,并且可以拆卸。配有傳送機(jī)構(gòu),在隔離空...
離子加速電壓 | 2 ~ 8 kV |
離子束直徑 | 500 um( FWHM) |
研磨速率 | 500 um(兩小時的平均值、8 kV、硅材質(zhì)換算、突出量:100 um) |
樣品架冷卻達(dá)到的溫度 | -120 ℃ |
樣品冷卻持續(xù)時間 | 8小時以上 |
制冷箱容量 | 約1升 |
承載樣品的最大尺寸 | 11mm(長) × 8mm(寬)× 3mm(厚) |
樣品臺移動范圍 | X軸:±6mm、Y軸:±2.5mm |
固定樣品方法 | 夾式 |
樣品加工擺角 | ±30° |
加工觀察用相機(jī)的倍率 |
約20~100倍(6.5寸顯示器上) 機(jī)械泵: 150 mm(寬) × 427 mm(長) × 230 mm(高)、約16 kg |
空氣隔離系統(tǒng) | 轉(zhuǎn)移艙 |
空氣隔離法 | 將艙內(nèi)設(shè)定成氬氣氣氛,蓋上轉(zhuǎn)移艙蓋子,將樣品封在艙里。 |
操作方法 | 觸控屏、6.5寸顯示器 |
使用氣體 | 氬氣(用質(zhì)量流量控制器控制流量) |
壓力測試 | 潘寧真空計 |
主抽真空系統(tǒng) | 渦輪分子泵 |
輔助抽真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵 |
尺寸、重量 |
主機(jī):約670mm (寬) × 720mm(長) × 530mm(高)、約73kg 機(jī)械泵:約150 mm (寬) × 430 mm(長) × 230 mm(高)、約16kg |
選配件 |
大型旋轉(zhuǎn)樣品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 基座樣品架 (IB‐11560MBSH) 大型樣品架(IB-11570LSH) 噴碳樣品架(IB-12510CCH) |
電源 | 單相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA |
接地線 | 獨立地線(100 Ω以下) |
氬氣 |
使用壓力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm²) 純度99.9999%以上(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自備) 金屬配管連接口:JISB0203 RC1/4 |
室溫 | 15~25 ℃ |
濕度 | 60%以下 |
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