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捷歐路JEOL IB-19530CP 截面樣品制備裝置

名稱(chēng):其他儀器與工具

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簡(jiǎn)介:捷歐路JEOL IB-19530CP 截面樣品制備裝置采用多用途樣品臺(tái),通過(guò)交換各種功能性樣品座實(shí)現(xiàn)了功能的多樣化。根據(jù)需要可以選擇不同的功能性樣品座,不僅能截面刻蝕,還可以進(jìn)行平面刻蝕、離子束濺射鍍膜等。通過(guò)配備高速離子源和利用自動(dòng)開(kāi)始加...

  • 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL IB-19530CP 截面樣品制備裝置采用多用途樣品臺(tái),通過(guò)交換各種功能性樣品座實(shí)現(xiàn)了功能的多樣化。根據(jù)需要可以選擇不同的功能性樣品座,不僅能截面刻蝕,還可以進(jìn)行平面刻蝕、離子束濺射鍍膜等。通過(guò)配備高速離子源和利用自動(dòng)開(kāi)始加工功能,不需花費(fèi)時(shí)間等待加工開(kāi)始,短時(shí)間內(nèi)就能刻蝕??焖偌庸ず途珤伡庸た梢猿绦蚧?,短時(shí)間內(nèi)就能制備出高質(zhì)量的截面。此外,利用間歇加工模式,還能抑制加工溫度。功能性樣品座采用模塊化設(shè)計(jì),在光學(xué)顯微鏡(另售)下也能調(diào)整加工位置。通過(guò)選擇各種功能性樣品座,不僅能截面刻蝕,還可以進(jìn)行平面刻蝕、離子束濺射鍍膜等。遮光板的耐久性是舊機(jī)型的3倍左右,能支持高速率加工和長(zhǎng)時(shí)間刻蝕。

離子加速電壓 2~8kV
刻蝕速率 500μm/h
承載樣品的最大尺寸 11mm(寬度)×10mm(長(zhǎng)度)×2mm(厚度)
樣品擺動(dòng)功能 刻蝕過(guò)程中,樣品自動(dòng)擺動(dòng)±30° (專(zhuān)利:第4557130號(hào))
自動(dòng)加工開(kāi)始模式 達(dá)到設(shè)定的壓力值后可自動(dòng)開(kāi)始加工。
間歇加工模式 脈沖控制離子束流照射,可以抑制加工時(shí)產(chǎn)生的熱量。
精拋加工模式 主加工結(jié)束后,自動(dòng)開(kāi)始精拋加工。

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