捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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簡介：捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學系統(tǒng)經(jīng)過改進，實現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power ...
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捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學系統(tǒng)經(jīng)過改進，實現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。
捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點如下：
1.半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場，因而可以獲得超高分辨率。
2.High Power Optics 是獨特的電子光學系統(tǒng)，既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進行多種分析。浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，最佳光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。
| 二次電子像分辨率 |
0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ） 分析時 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA ) |
| 倍率 |
Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） Display magnification: x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels） |
| 加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV |
| 探針電流 | 數(shù) pA ～ 200 nA |
| 電子槍 | 浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍 |
| 透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡（CL）、 最佳光闌角控制鏡（ACL）、 半浸沒式物鏡（OL） |
| 樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動 |
| 電子檢測器系列 | 高位檢測器、 r‐過濾器 內置、 低位檢測器 |
| 自動功能 | 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調節(jié) |
|
圖像觀察用 液晶顯示器 |
屏幕尺寸 23英寸寬屏 最大分辨率 1,920 × 1,080像素 |
| 抽真空系統(tǒng) |
電子槍室／中間室 SIP 離子泵 樣品室 TMP 分子泵 |
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