捷歐路JEOL JXA-8530F Plus 場發(fā)射電子探針顯微分析儀是最新研發(fā)的第三代場發(fā)射電子探針JXA-8530F Plus,電子光學(xué)系統(tǒng)有了很大的改進(jìn),新的軟件能提供更高的通量,并保持著極高的穩(wěn)定性,能實(shí)現(xiàn)更廣泛的EPMA應(yīng)用。
捷歐路JEOL JXA-8530F Plus 場發(fā)射電子探針顯微分析儀采用浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍,優(yōu)化了角電流密度,能利用2 μA以上的大探針電流進(jìn)行分析,還提高了分析條件下的二次電子像的分辨率。新開發(fā)了多種基于Windows操作系統(tǒng)的軟件,其中包括:能使痕量元素分析更加簡便的“痕量元素分析程序”、能自動制作相圖的“相圖制作器”以及只需簡單輸入就能對表面凹凸不平樣品進(jìn)行測試的“不平坦樣品的分析程序”等。X射線波譜儀可以選擇140 R或100 R羅蘭圓, 羅蘭圓半徑為140 mm的XCE/L型X射線譜儀檢測范圍寬,波長分辨率高和P/ B比優(yōu)異,100 mm的H型X射線譜儀具有X射線衍射強(qiáng)度高的特點(diǎn),可以根據(jù)需要選擇使用。
JXA-8530F Plus 場發(fā)射電子探針顯微分析儀標(biāo)配了JEOL制造的30平方毫米 SD檢測器(以下簡稱SD檢測器),憑借高計(jì)數(shù)率的SD檢測器,在與WDS相同的分析條件下可以進(jìn)行EDS分析,通過簡單的操作就能采集EDS譜圖。