最新開發(fā)設(shè)計(jì)的分光系統(tǒng),不需移動(dòng)衍射光柵或檢測器(CCD)就能同時(shí)獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高,還可以采集狀態(tài)分析分佈圖。各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖。即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊,需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示,SXES具有很高的能量分辨率。
捷歐路JEOL 軟X射線分析譜儀產(chǎn)品規(guī)格:
能量分辨率0.3eV(Al-L 光譜圖73eV處測試)
獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV
獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV
分光譜儀艙安裝位置:
EPMA的WDS接口:NO.2接口(正面右側(cè))
FE-SEM的WDS接口(正面左后側(cè))
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機(jī)型
EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM : JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F