島津SHIMADZU SolidSpec-3700/3700DUV 紫外分光光度計是一款頂級的高靈敏度分光光度計,可進行深紫外區(qū)檢測,具備大樣品室,可滿足光學(xué)、半導(dǎo)體及FPD在以下方面的檢測需求。
FPD:材料評估中NIR和大樣品的高靈敏度測定。
半導(dǎo)體:短波長激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測定。
光通信: 減反射膜NIR高靈敏度測定。
光學(xué):從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。
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高靈敏度:SolidSpec-3700和3700DUV是第一臺使用3個檢測器的分光光度計:光電倍增管(PMT)探測器檢測紫外區(qū)和可見光區(qū),近紅外區(qū)使用InGaAs 和 PbS檢測器。InGaAs 和 PbS檢測器的使用使得近紅外區(qū)域的靈敏度顯著增強。
深紫外區(qū)檢測:SolidSpec-3700DUV具有檢測深紫外區(qū)的能力,可測定至165nm或175nm的積分球。此檢測是用氮氣吹掃光室和樣品室進行的。注: 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測定)的最短波長。
大樣品室:大樣品室(900Wx700Dx350Hmm) 可在不損傷大樣品的前提下進行檢測。其垂直光路可直接測量大樣品同時保持它們的水平狀態(tài)。使用自動X-Y樣品臺(選配)測定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。
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