秦思肯Tescan FERA3 GM 掃描電子顯微鏡是一款由計(jì)算機(jī)完全控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點(diǎn)。基于Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)單的電鏡操作和圖像采集,可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片,可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量,實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。
秦思肯Tescan FERA3 GM 掃描電子顯微鏡分析潛力:高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率、高電流和低噪聲的圖像;選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像;三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì);結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化;成像速度快;低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可獲取高分辨率圖像 (選配);In-Beam背散射電子探頭,用于在小工作距離下得BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品;全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)優(yōu)化了樣品操控;完美的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD);由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和干式前置真空泵, 因而可以很快達(dá)到電鏡的工作真空,電子槍的真空由離子泵維持;自動(dòng)的電子光路設(shè)置和合軸;網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷軟件;3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像;在低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa 用于觀測(cè)不導(dǎo)電樣品;獨(dú)特的離子差異泵(2個(gè)離子泵)使得離子散射效應(yīng)超低;聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器;聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒(méi)裝置和法拉第筒;高束流下超高的銑削速度和卓越的性能FIB切割、信號(hào)采集、3維重構(gòu)(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化;成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖像采集、存檔、處理和分析功能。
秦思肯Tescan FERA3 GM 掃描電子顯微鏡配置:FERA3 GMH,是一款完全由計(jì)算機(jī)控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS),在高真空模式下工作。FERA3 GMU,是一款完全由計(jì)算機(jī)控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。
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