湖南省長(zhǎng)沙市開福區(qū)車站北路湘域智慧南塔
0731-84284278
0731-84284278
service@hncsw.net
0731-84284278
SE401 在線式激光橢偏儀
名稱:涂鍍層測(cè)厚儀
品牌:
型號(hào):
簡(jiǎn)介:SE401 在線式激光橢偏儀簡(jiǎn)單信息: 在線式激光橢偏儀,可以在線測(cè)量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長(zhǎng)橢偏儀, 使用旋轉(zhuǎn)分析器,對(duì)測(cè)量橢偏角度有高重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,快速測(cè)量數(shù)據(jù),基于windows操作系統(tǒng)的軟件使測(cè)量精確、快速、簡(jiǎn)...
SE401 在線式激光橢偏儀簡(jiǎn)單信息: 在線式激光橢偏儀,可以在線測(cè)量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長(zhǎng)橢偏儀, 使用旋轉(zhuǎn)分析器,對(duì)測(cè)量橢偏角度有高重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,快速測(cè)量數(shù)據(jù),基于windows操作系統(tǒng)的軟件使測(cè)量精確、快速、簡(jiǎn)單。SE 401過(guò)程控制橢偏儀適用于監(jiān)控動(dòng)態(tài)過(guò)程,如不同環(huán)境下單層膜的生長(zhǎng)或蝕刻過(guò)程。
SE401 在線式激光橢偏儀規(guī)格
·激光波長(zhǎng) 632.8 nm
·測(cè)量時(shí)間最小80 ms(測(cè)量Ψ,Δ數(shù)據(jù))。
·接口配置,用于將橢偏儀安裝在反應(yīng)腔上。
·激光聚焦高度調(diào)節(jié)
·應(yīng)力釋放窗口
·基于windows系統(tǒng)的操作分析軟件,在線監(jiān)控橢偏測(cè)量并計(jì)算單層膜的膜厚、折射率。
選項(xiàng)
·高真空應(yīng)力釋放窗口
·使橢偏儀正面向上的附加置換單元
·雙波長(zhǎng)激光 (可選405 nm或1550 nm)
·角度計(jì)可調(diào)節(jié)入射角,步進(jìn)值5度。載物臺(tái)直徑150mm
·TIMECALC 軟件,動(dòng)態(tài)橢偏測(cè)量模擬和分析軟件。
廠商名稱: SENTHCH
商品名稱: 在線式激光橢偏儀
商品型號(hào): SE401
最新產(chǎn)品
您好,歡迎訪問(wèn)艾克賽普
想要進(jìn)一步了解我們的產(chǎn)品和方案?
我們7*24小時(shí)為您服務(wù)!
電話咨詢:0731-84284278
稍后聯(lián)系